Neue elektronenoptische Bauelemente

Projektleitung und Mitarbeiter

Mittelgeber : ICT GmbH, Heimstetten b. München

Forschungsbericht : 1994-1996

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

Elektronenoptische Transferlinsen dienen der Anpassung von neuen Feldemissionsstrahlern oder hochaktuellen Energiefiltern an den elektronenmikroskopischen Strahlengang. Wir haben eine elektrostatische Immersionstransferlinse entworfen, berechnet und mit genetischen Algorithmen optimiert. Sie besitzt geringere Aberrationen als vergleichbare bekannte Linsen und ihre Erprobung ist in Vorbereitung. Zur Abbildung von pn-Übergängen in Halbleitern wurde ein Rau-Detektor samt Signalverstärkungselektronik komplett neu entwickelt, in einem Rasterelektronenmikroskop integriert und erfolgreich eingesetzt. Wir haben ferner einen neuartigen elektronenoptischen "Niederspannungsnachbrenner" konstruiert und gebaut. Durch den Einbau dieses rohrlinsenartigen Elements in ein konventionelles Rasterelektronenmikroskop hoffen wir dessen Auflösungsvermögen im Niederspannungsbetrieb (0,5-3 keV Elektronenenergie) zu verbessern.

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